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在半导体制造设备中,波纹管(Bellows) 是一种用于精密密封、柔性传动和位移补偿的关键金属弹性元件。国内外很多企业使用,如日本佳能,ULVAC,AKT等。此类设备对真空密封性要求严格,使用寿命达100-500万次。